透镜的研发成功只是第一步。【醉书楼小说网,轻松阅新体验WWW.zslxsw.//com]光

刻机的制造难度极大，但主要的拦路虎一共有四条。第

一是制造精度要求极高，一台光刻机数万个零件，要求的制造精度最少也是微米级，绝大多数精密部件要求精度达到亚微米级，极少数超高精密零部件的加工精度需要达到100纳米～200纳米。这

样高的精度，以国内现行的加工技术，根本做不到。人

力有时而穷，八级技工的手工打磨最高精度仅能达到亚微米级，就算秉持着十年磨一剑的精神，也磨不出精度只有100微米的极高精密零件。不

过对于钢铁城来说，这已经不是问题。实验工厂新研发的自动车床、铣床、磨床等一系列加工设备，均达到了最高精度一百多纳米的水平，完全达到了个别超高精密零部件的加工要求。

第二个是高透光度的透镜。第

三个拦路虎，则是光刻机的行动部件。

最后一个，就是短波激光光源。芯

片光刻，是通过工作台的移动，来改变光刻聚焦，对光刻胶进行刻蚀。它的运动控制部件优劣，直接决定了光刻的精度，而移动速度，又决定了产率，可以说是光刻机最核心的子系统。要

保证最佳的对焦调整，工作台的最小移动距离必须非常小，最好是一个纳米一个纳米移动。实

际制作中当然达不到这样的精度。

以飞利浦最新款的光刻机为例，它的最小移动距离实际只有300纳米。加上光源波长，它的光刻效果，最小线宽达到了三百五十纳米。其

他厂商差不多也是同一水平，有区别也差距不大。

这就是当前国际最先进的光刻机制程能力。

所谓一代设备，一代产品。

最新的奔腾2266处理器，采用的就是350纳米线宽的制程工艺。

白云天进入到实验室，对李莲道：“你们这边进度怎么样？”

“非常顺利！”李莲给了他一个笑脸。她

带领的小组，负责制造光刻机最关键的工作台子系统，其中最重要的就是运动部件。

为了保证运动的稳定性，移动部分不是普通导轨，而是空气悬浮导轨。

从制造难度来说，它不算太大。

无非是一两百纳米的加工精度，对才鸟枪换炮的钢铁城来说一点难度也没有。

之所以它会成为光刻机研制的拦路虎，还是因为导轨设计需要运用到非常高深的流体力学知识，才能验算出怎样设计才会将气流对工作台稳定性的影响降到最低，从而设计出满足工业需要的产品。偏

偏这一点，对白云天最不构成阻碍。

谁让他有《制

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